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磨削中精密测量技术
精密测量技术是精密加工发展的基础和先决条件之一，这已被生产发展的历史所证实。从生产发展的历史来看，精密加工精度的提高总是与精密测量技术的发展水平相关的。由于有丫干分尺类量具，J能使加工精度达到0.1mm；有了测微比较仪，才能使加工精度达到1ym左右；有了囚度仪，才能使加：r精度达到o．1Pm；有了激光十涉仪，才能使加工精度达到o．1一o．olflm：N前，国际上精密工艺的加工精度已能稳定地达到lym，正在向着稳定精度为o．1一o．017‘n、的加上水平发展，表面租糙度的测量则向o．o01ym(1nm)水平发展，纳米技术正在形成新的技术热点，而材料、精密加上、精密测员与控制已经成为现代精密工程(包括宇航)的三大支柱。对于科学技术来说，测量与按制是促进其发展的关键原因，测量的精度和效率在一定程度上决定着国家科学技术的水平。
目前，在机械工业研究领域，尤其是精密超精密研究领域，精密测量方法与仪器已成为科学研究中的最重要手段，例如研究镜面磨削工艺参数对加上误差的影响，研究精密表面的瘴擦磨损，特别是在要求晶格无畸变的硅片的超精密研磨中，平面度的测量要求达到5M．粗糙度测量要求达到0.1nm。如没有高精度测量仪器，是不可能实现的。在电子、计算机、航空等工业部门，精密测量技术也被提到从未有过的高度。例如，制造超大规模集成电路，要求在1mm’的面积上：就集成looo个以上品体管，线条宽度仅在lf4m左右，尺寸误差为0.1ym；在制造掩模原版的图形发生器巾，其定位精度要求达到o．1flm。所以要研究这种集成电路的装备，必须有测量用的高精度测量和定位系统。此外，在高纯度单晶砍的品格参数测量、在纳米表面制造以及对生物细胞、空气污染微粒、石油纤维等基础研究中，也无不需要精密测量技术。
文章整理：砂轮 http://www.chuanghui-cn.com/news.asp?SortID=2
目前，在机械工业研究领域，尤其是精密超精密研究领域，精密测量方法与仪器已成为科学研究中的最重要手段，例如研究镜面磨削工艺参数对加上误差的影响，研究精密表面的瘴擦磨损，特别是在要求晶格无畸变的硅片的超精密研磨中，平面度的测量要求达到5M．粗糙度测量要求达到0.1nm。如没有高精度测量仪器，是不可能实现的。在电子、计算机、航空等工业部门，精密测量技术也被提到从未有过的高度。例如，制造超大规模集成电路，要求在1mm’的面积上：就集成looo个以上品体管，线条宽度仅在lf4m左右，尺寸误差为0.1ym；在制造掩模原版的图形发生器巾，其定位精度要求达到o．1flm。所以要研究这种集成电路的装备，必须有测量用的高精度测量和定位系统。此外，在高纯度单晶砍的品格参数测量、在纳米表面制造以及对生物细胞、空气污染微粒、石油纤维等基础研究中，也无不需要精密测量技术。
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